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TECHNICAL ARTICLES管材內(nèi)部非接觸式光學(xué)掃描儀 粗糙度測量PZ-30LS
非接觸粗糙光學(xué)掃描儀是一種通過彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光,通過色散鏡頭后,在量程范圍內(nèi)形成不同波長的單色光,每個(gè)波長對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測量光射到物體表面反射回來,只有滿足共聚焦條件的光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計(jì)算被感測到光的焦點(diǎn)的波長,換算獲得距離值。它被廣泛應(yīng)用在各種不同的精密產(chǎn)業(yè)中如油墨厚度測量,MLCC厚度測量,厚膜電路測量,銀漿厚度測量,激光刻蝕測量,涂膠厚度測量,半導(dǎo)體、特種材料表面粗糙度測量,院校、研究所和計(jì)量檢定部門的計(jì)量室、試驗(yàn)室以及生產(chǎn)車間的檢測設(shè)備之一。
PZ-30LS由壓電電動(dòng)臺(tái)和光譜共焦位移傳感器組成,進(jìn)行二維輪廓采集。傳感器的測量頭垂直平臺(tái)固定,通過控制軟件控制平臺(tái)X方向移動(dòng)從而進(jìn)行掃描。
PZ-30LS主要由光譜共焦位移傳感器、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和采集控制軟件CLS-3000組成,以下分別介紹:
傳感器是基于彩色激光共焦原理來測量距離的,通過一根專用光線光纖和測量頭連接。光源為內(nèi)置LED光源,接入電源為24V DC,主要依靠以太網(wǎng)接口進(jìn)行數(shù)字輸出數(shù)據(jù),PZ-30LS通過I/O觸發(fā)傳輸數(shù)據(jù)。有關(guān)傳感器CDS-700的設(shè)置參考CDS-700使用手冊。
平臺(tái)由運(yùn)動(dòng)部分和控制軟件組成,X軸都采用的是壓電電機(jī),掃描速度可以達(dá)到20mm/s。通過控制軟件可以控制X平臺(tái)按照既定方式運(yùn)行。
PZ-30LS非接觸式光學(xué)掃描儀主要用于對(duì)平面、曲面的掃描以獲取輪廓曲線,精度高,操作簡便。主要用于測量產(chǎn)品/樣品的外部輪廓,包括凸起高度,凹陷深度,粗糙度,樣品截面輪廓曲線等等,結(jié)合測量軟件可以得到輪廓曲線各點(diǎn)的數(shù)據(jù),測量軟件兼有計(jì)算功能,可以快速準(zhǔn)確的計(jì)算出所需要參數(shù)。
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